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离子束表面校型设备

LEYBOLD OPTICS IBF series

离子束表面校型 (IBF) 在真空条件下提供一种高质量的校正抛光工艺,利用加速原子消除微小误差,实现高准确度,在亚毫米范围内局部分辨率可达到几纳米。

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主要优点

可以对几乎任何形状抛光

六轴直接驱动系统可确保离子源始终与工件表面成直角(正交),IBF 工艺可加工表面边缘。

表面质量达到 λ/200 以上

IBF 可校正任何光学表面中非常微小的误差,实现高准确度,这使其成为理想的终端加工步骤。

全自动,重复性高

我们的全自动工艺具有迭代工作流,可在不同的离子束孔径下工作,无需在不同的工艺间进行工件测量,从而提供可预测的加工时间。

突出特点

先进的软件

易于安装和使用

界面友好的软件对不同来源的测量数据提供分析和可视化呈现,为模拟加工过程做好准备。全自动机器无需任何人工监测,您可自定义图形用户界面以体现应用。

ISERM

刻蚀速率直接测量

IBF 测量系统使用低相干技术以高精度确定离子源的刻蚀速率剖面。它包括一个可互换的样品支架用于各种不同的材料。一个测量头即可进行多次测量。

孔径变换器

多达五个快门

您可在操作过程中(在真空腔室内)更改离子束源孔径,最多可使用五个孔径,测量直径范围从 0.5 mm 至 20 mm。

关键主题

每天,数以亿计的人们都在享用布勒技术,以满足自己在食品、交通出行以及更多领域的日常所需。我们的座右铭是“布勒创新,驱动未来”。了解有关我们关键主题的更多信息。

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