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精密光学真空镀膜

IBS series

莱宝光学 IBS 系列提供离子束溅射和低损耗的光学镀膜,非常适合生产用于激光光学、陀螺仪、计量学、显微镜、电信和其他有苛刻应用要求的高精度镀膜。

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主要优点

靶材灵活性高

从广泛的靶材中进行选择,可同时在加工腔室中应用三种不同的材料,帮助您满足严苛的生产要求。

缺陷密度低,散射值低

IBS 系列中的离子束溅射技术能尽可能地缩小生产缺陷。工艺腔室中的驱动系统使部件相互进行优化定位,以获得更高的镀膜性能。

可在弯曲工件架或大面积工件架上镀膜

莱宝光学 IBS 系列可满足您对弯曲度和更大的工件架直径的需求,镀膜直径可高达 600 mm。

突出特点

可对直径达 600 mm 的工件架进行镀膜

选择设备尺寸

您可选择莱宝光学 IBS 1400 对直径达 400 mm 的基底进行镀膜,或选择莱宝光学 IBS 1600 对直径达 600 mm 的基底进行镀膜,为现在和将来提供更宽泛的镀膜能力。

工件架上光学监控

理想的膜层均匀性

莱宝光学 IBS 系列中经全球验证的莱宝光学 OMS 5100 光学监控系统可准确终止每一层的沉积过程,满足对激光器、陀螺仪反射镜、计量学、显微镜学和电信应用的挑战性需求。

智能化设备设计

性能佳,无需遮罩和挡板系统

传统系统依靠均匀挡板来控制均匀性,并在靶材上配备挡板用于靶材预处理,这种结构会在镀膜过程中形成污染颗粒。莱宝光学 IBS 镀膜机系列在没有遮罩或挡板的情况下,均匀性高,颗粒污染少,为您提供更好的整体镀膜质量。

为保持加工腔室处于稳定的加工条件,您可在莱宝光学 IBS 1400 HP 设备中增加一个自动装载系统。

关键主题

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