精密光学真空镀膜
SYRUSpro series
SYRUSpro 满负荷 (24/7) 光学滤波器批量生产提供优越的性能和生产力。针对深紫外（DUV）到可见光谱（VIS）和红外（IR）光谱范围的应用，提供标杆式解决方案。
主要优点
专为要求严苛的应用而设计
SYRUSpro 旨在满足您对红外、深紫外甚至极端波长范围严苛的规格要求。
匹配您的工艺
我们提供大量高质量关键部件配置 SYRUSpro，精确匹配您的工艺需求。
灵活性高
您可选择八种不同的腔室尺寸来完美匹配您的装载容量和基片尺寸。
突出特点
腔室选择
满足您的工艺需求
SYRUSpro 镀膜机可提供八种不同的腔室尺寸，内径在 710 mm 到 2800 mm 之间。您可从中选择一个腔室来与您的工艺要求的装载容量和基片尺寸进行完美匹配。
镀膜选择
满足您的镀膜规格
SYRUSpro 系列涵盖的镀膜种类包括用于截止滤光片（短通和长通）、UV 和 IR 截止滤光片、负滤光片和窄带滤光片、二色性彩色滤光片和偏振分光器、用于激光器的 AR 和 HR 镀膜等。
关键部件灵活性
根据您的产品进行调整
我们借助大量专有部件按您的产品需求定制系统。我们帮助您选择直接光学监控、等离子体源和各种电子束蒸发器、热蒸发器、石英晶体测量和基片架系统，满足您的需求。
自动化
实现更高的生产效率
我们的前沿工艺控制系统结合高度的编程灵活性和自动化程度，为您提供所需控制，提高不间断满负荷 (24/7) 生产循环效率。
优化系统解决方案
适合深紫外应用的低损耗解决方案
适用于 193 nm 波长光刻应用优化的系统解决方案包括经过特殊处理的腔室表面、精选材料和个性化部件配置，确保很低的镀膜损耗。这些特点也适用于 DUV 应用中所需的高反射率无温漂稳定镜面镀膜。
红外应用
满足红外应用的特殊要求
为满足红外 IR 应用的特殊要求，设备的设计可进行完美调整，处理大量 IR 镀膜材料。可在整个表面和曲面上，凭借优异的膜层性能对需要良好均匀性的平面和高曲率基片进行镀膜。
可定制
按您的需求量身定制
我们经验丰富的布勒莱宝光学团队将与您合作，帮助您确定所需精确配置，为您的应用创建高质量、高效和可靠的真空镀膜解决方案。
关键主题
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